[发明专利]电感耦合型等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201010561086.7 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN101998749A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 罗伟义;许颂临 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电感耦合型等离子体处理装置，包括：反应腔、电源和设置于所述反应腔顶盖上方的电感耦合线圈，所述电感耦合线圈包括相叠的至少两个线圈，所述电源对所述电感耦合线圈中的各线圈分别供电，其中第一线圈在反应腔内形成的电磁场中间部分大于边缘部分，第二线圈在反应腔内形成的电磁场边缘部分大于中间部分。本发明提高了等离子体密度分布的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种电感耦合型等离子体处理装置，包括：反应腔、电源和设置于所述反应腔顶盖上方的电感耦合线圈，其特征在于，所述电感耦合线圈包括相叠的至少两个线圈，所述电源对所述电感耦合线圈中的各线圈分别供电，其中第一线圈在反应腔内形成的电磁场中间部分大于边缘部分，第二线圈在反应腔内形成的电磁场边缘部分大于中间部分。
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