[发明专利]液体排出头的制造方法和排出口部件的制造方法有效
| 申请号： | 201010556525.5 | 申请日： | 2010-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102139568A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 三原弘明;池亀健 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 卜荣丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本申请涉及液体排出头的制造方法和排出口部件的制造方法。提供一种液体排出头的制造方法，该液体排出头具有包含能量产生元件的基板和排出口部件，该排出口部件具有排出口并与基板接合，由此形成与排出口连通的液体流路。该方法依次执行以下的步骤：制备导电基底，在该导电基底上依次层叠用于形成排出口的第一绝缘抗蚀剂和第二绝缘抗蚀剂；通过使用第一抗蚀剂和第二抗蚀剂作为掩模执行镀覆，并形成第一镀层；去除第二抗蚀剂；通过使用第一抗蚀剂作为掩模在基底上执行镀覆，由此形成第二镀层以覆盖第一镀层；去除基底和第一抗蚀剂，由此形成排出口部件；和将基板和排出口部件接合在一起。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 出头 制造 方法 出口 部件 | ||
【主权项】：
一种液体排出头的制造方法，该液体排出头具有基板和排出口部件，该基板包含产生用于排出液体的能量的能量产生元件，该排出口部件具有排出液体的排出口并与基板接合，由此形成与排出口连通的液体流路，该方法依次执行以下的步骤：制备具有导电表面的基底，依次在导电表面上层叠有用于形成排出口的绝缘性的第一抗蚀剂和绝缘性的第二抗蚀剂；通过使用第一抗蚀剂和第二抗蚀剂作为掩模执行镀覆，以在导电表面上形成第一镀层，使得第一镀层的顶面距基底的高度比第一抗蚀剂的顶面距基底的高度高并比第二抗蚀剂的顶面距基底的高度低；去除第二抗蚀剂；通过使用第一抗蚀剂作为掩模在导电表面上执行镀覆，由此形成第二镀层以覆盖第一镀层；去除基底和第一抗蚀剂，由此形成排出口部件；和将基板和排出口部件接合在一起。
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