[发明专利]分划板的制造方法无效
申请号: | 201010546379.8 | 申请日: | 2010-11-16 |
公开(公告)号: | CN102466891A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 张春雷 | 申请(专利权)人: | 上海法雷光学科技有限公司 |
主分类号: | G02B27/32 | 分类号: | G02B27/32;G03F7/00;G06F17/50 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 胡美强 |
地址: | 200433 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种分划板的制造方法,其包括母板制作工艺和照相复制工艺,母板制作工艺包括以下步骤:根据客户的零件设计图纸绘制计算机CAD图纸的文件;准备母板基片;将母板基片放入显微镜对准系统;打开激光绘图仪器;设置光源强度。照相复制工艺包括以下步骤:用清洁剂清洁母板和光学零件;配制铵液;制作感光胶;光学零件放在精密夹具上并放入离心机内;烘烤玻璃零件;真空吸附模板与光学零件均匀粘合和采用动态曝光加工分划板光学零件;光学零件与母板精密复合,然后进行曝光;将光学零件放入显影液中后着色,清洗干净。本发明提高产品的精度和合格率。 | ||
搜索关键词: | 分划板 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种分划板的制造方法,其包括母板制作工艺和照相复制工艺,其特征在于,母板制作工艺包括以下步骤:步骤一:根据客户的零件设计图纸绘制计算机CAD图纸的文件;步骤二:准备母板基片,用清洁剂清洁母板基片的玻璃基板表面,确保玻璃表面没有灰尘和表面疵病;步骤三:将母板基片放入显微镜对准系统,调整母板基片位置,对准母板几何中心;步骤四;打开激光绘图仪器,输入CAD图纸的文件,先将CAD图纸的文件转换为Gerber图纸的文件,再进行位相转换;步骤五:设置光源强度,扫描速度、光圈值、角度参数,启动制版程序绘制图案;照相复制工艺包括以下步骤:步骤十一:用清洁剂清洁母板和光学零件,确保玻璃表面没有灰尘和表面疵病;步骤十二:配制感光胶,按比例配制虫胶液,熬制虫胶液到规定浓度;步骤十三:配制铵液,将重铬酸铵、氨水、无水乙醇按规定的比例和程序配制;步骤十四:制作感光胶,混合虫胶液和铵液;步骤十五:光学零件放在精密夹具上并放入离心机内,启动离心机,将感光胶涂布在玻璃零件表面;步骤十六:烘烤玻璃零件;步骤十七:真空吸附模板与光学零件均匀粘合和采用动态曝光加工分划板光学零件;步骤十八:光学零件与母板精密复合,放入曝光机,调节曝光时间、光源强度和距离参数,然后进行曝光;步骤十九:将光学零件放入显影液中后着色,清洗干净。
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