[发明专利]卡盘设备及使用此设备的电机装置无效
申请号: | 201010517013.8 | 申请日: | 2010-10-15 |
公开(公告)号: | CN102237108A | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 闵珍善;申东莲 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | G11B17/04 | 分类号: | G11B17/04 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 郭鸿禧;李娜娜 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 在此提供一种卡盘设备,该卡盘设备包括:中心壳体,盘的内周表面被固定在中心壳体上;爪,形成在中心壳体中并运动到中心壳体的内侧,以在安装盘时弹性地支撑盘的内周表面,当外力使爪变形时,爪的下端形成为与旋转构件隔开,以与旋转构件具有弹性限制间隙,使得爪在爪的弹性变形限制范围内变形,旋转构件与中心壳体一起旋转。 | ||
搜索关键词: | 卡盘 设备 使用 电机 装置 | ||
【主权项】:
一种卡盘设备,包括:中心壳体,盘的内周表面被固定在所述中心壳体上;爪,形成在所述中心壳体中并运动到所述中心壳体的内侧,以在安装盘时弹性地支撑盘的内周表面,其中,当外力使爪变形时,所述爪的下端形成为与旋转构件隔开,以与所述旋转构件具有弹性限制间隙,使得所述爪在爪的弹性变形限制范围内变形,所述旋转构件与所述中心壳体一起旋转。
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