[发明专利]一种薄膜式热释电红外传感器无效
| 申请号： | 201010505981.7 | 申请日： | 2010-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102023058A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 王宏臣 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 264006 山东省烟台经济技术*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜式热释电红外传感器，包括依次设置的衬底、支撑层、绝热层、薄膜层和光敏传感层，所述薄膜层为2n元结构，所述光敏传感层包括依次铺设的钝化层和红外吸收层。发明的有益效果是：本发明所述的传感器，采用衬底、支撑层、绝热层、薄膜层和光敏传感层的结构，使传感器敏感区下部就不与衬底直接接触，有效降低传感器与衬底间的热导，光敏传感层的结构，提高了传感器的可靠性和响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 式热释电 红外传感器 | ||
【主权项】：
一种薄膜式热释电红外传感器，包括衬底、支撑层和光敏传感层，其特征在于，所述支撑层和光敏传感层之间依次设有绝热层和薄膜层，所述薄膜层为2n元结构，所述光敏传感层包括依次铺设的钝化层和红外吸收层。
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