[发明专利]快速冷却的多晶炉热场及其使用方法有效
申请号: | 201010292733.9 | 申请日: | 2010-09-26 |
公开(公告)号: | CN102094232A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 张志强;黄振飞;黄强 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及多晶硅铸锭炉的热场结构技术领域,尤其涉及一种快速冷却的多晶炉热场及其使用方法,其包括炉体,同时设置有主隔热笼和副隔热笼,且在主隔热笼侧壁上半部分开设有散热窗口,在加热、熔化、长晶及热处理过程中,位于主隔热笼侧壁上的散热窗口被副隔热笼所掩盖,在冷却过程中,主隔热笼上的散热窗口与副隔热笼分离。本发明快速冷却的多晶炉热场及其使用方法能提高晶锭冷却速度,缩短生产周期。 | ||
搜索关键词: | 快速 冷却 多晶 炉热场 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
一种快速冷却的多晶炉热场,包括炉体(1),其特征在于:同时设置有主隔热笼(2)和副隔热笼(3),且在主隔热笼(2)侧壁上半部分开设有散热窗口(10),在加热、熔化、长晶及热处理过程中,位于主隔热笼(2)侧壁上的散热窗口(10)被副隔热笼(3)所掩盖,在冷却过程中,主隔热笼(2)上的散热窗口(10)与副隔热笼(3)分离。
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