[发明专利]阵列测试装置无效
申请号: | 201010291871.5 | 申请日: | 2010-09-26 |
公开(公告)号: | CN102117589A | 公开(公告)日: | 2011-07-06 |
发明(设计)人: | 朴廷喜 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | G09G3/00 | 分类号: | G09G3/00;G01R31/28;G01R1/067 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 张文;郭放 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本文公开一种阵列测试装置。阵列测试装置包括探针组件。探针组件包括设置为能够沿基板输送方向移动的探针组件框架、以及以可拆卸的方式设置在探针组件框架上的托架。托架具有探针头,探针头的每一个配备有探针引脚。因此,阵列测试装置能够有效地应对大尺寸基板。 | ||
搜索关键词: | 阵列 测试 装置 | ||
【主权项】:
一种阵列测试装置,包括:测试单元,所述测试单元测试基板的缺陷;基板输送单元,所述基板输送单元向所述测试单元输送所述基板;以及探针组件,所述探针组件将电信号施加至形成在所述基板上的电极,其中,所述探针组件包括:探针组件框架,所述探针组件框架设置为能够沿所述基板的输送方向移动;以及托架,所述托架以可拆卸的方式设置在所述探针组件框架上,所述托架具有探针头,所述探针头配备有将接触所述基板的所述电极的探针引脚。
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