[发明专利]蓝宝石硅棒的切割方法

摘要

本发明提供一种蓝宝石硅棒的切割方法，主要是将具有平面侧壁的蓝宝石硅棒黏合在一工件治具的横梁上，并使蓝宝石硅棒的轴线与工件治具中心轴线为同一轴心线；将金刚线置于蓝宝石硅棒下方，并使金刚线的走线方向与轴心线相对垂直；在切割作业中，依据预先设置的转速及垂向下移速度旋转并下移所述工件治具，当所述工件治具的横梁触碰到所述金刚线时换向旋转，同时随着所述蓝宝石硅棒切割深度的递增所述工件治具的转角递减，直至切割结束，因而，本发明解决了现有技术中普遍采用的垂直线切割的方式而造成的切割困难，精度差以及切割时间长以及生产效率低等问题，不但使整个切割过程顺畅容易控制，而且也大大的缩短了切割时间提高了切割效率。

主权项

一种蓝宝石硅棒的切割方法，其特征在于，该切割方法包括以下步骤：(1)提供一圆柱体蓝宝石硅棒，并在所述蓝宝石硅棒上切出一平行于轴线的平面侧壁；提供一工件治具，所述工件治具具有一横梁以及固定在所述横梁两端的转轴部；(2)将所述蓝宝石硅棒的平面侧壁经由黏合介质黏合在所述工件治具的横梁上，并使所述蓝宝石硅棒的轴线与所述工件治具的两端转轴部的中心轴线为同一轴心线；(3)提供至少一根可高速运行的金刚线，将所述金刚线置于所述蓝宝石硅棒下方，并使所述金刚线的走线方向与所述轴心线相对垂直；(4)设置所述工件治具转速及垂向下移速度；(5)高速运行所述金刚线，同时下降黏合有所述蓝宝石硅棒的工件治具，使所述蓝宝石硅棒压迫所述高速运行的金刚线；以及(6)依据预先设置的转速及垂向下移速度旋转并下移所述工件治具，当所述工件治具的横梁触碰到所述金刚线时换向旋转，同时随着所述蓝宝石硅棒切割深度的递增所述工件治具的转角递减，直至切割结束。