[发明专利]喷墨头压电致动单元的切割方法有效
| 申请号： | 201010282112.2 | 申请日： | 2010-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN102398419A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 郑江河;黄科铭;奚国元 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种喷墨头压电致动单元的切割方法，该方法包含下列步骤：(a)提供喷墨头多层结构，其是由振动板及多个板件堆栈而成，且喷墨头多层结构具有多个喷墨单元，其中多个喷墨单元对称设置并分别具有腔体；(b)将压电致动片对应设置于多个喷墨单元腔体的振动板上，其中腔体分别具有第一边、第二边、第三边及第四边，每一腔体的第一边分别对齐于相对称的另一腔体的第三边；以及(c)以晶圆切割刀沿着对应于腔体的第一边及相对称的腔体的第三边对压电致动片进行直线切割，以使压电致动片对应于腔体的处分别对应产生多个对称设置的致动单元。 | ||
| 搜索关键词： | 喷墨 压电 单元 切割 方法 | ||
【主权项】：
一种喷墨头压电致动单元的切割方法，该方法包含下列步骤：(a)提供一喷墨头多层结构，其是由一振动板以及多个板件堆栈设置而成，且该喷墨头多层结构具有多个喷墨单元，其中该多个喷墨单元相互对称设置，且每一该多个喷墨单元分别具有一腔体；(b)将至少一压电致动片对应设置于该多个喷墨单元该腔体的该振动板上方，其中该腔体分别具有一第一边、一第二边、一第三边及一第四边，且每一该腔体的该第一边是分别对齐于相对称的另一该腔体的该第三边；以及(c)以一晶圆切割刀沿着对应于该腔体的该第一边及相对称的该腔体的该第三边对该至少一压电致动片进行直线切割，以使该至少一压电致动片对应于该腔体之处分别对应产生多个对称设置的致动单元。
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