[发明专利]光纤型激光自混合干涉仪及其测量方法

摘要

本发明公开了一种光纤型激光自混合干涉仪及其测量方法，属于位移精密测量领域。干涉仪包括分布反馈半导体激光器、保偏光纤耦合器、线内起偏器、单模光纤、电光调制器、光纤光栅、梯度折射率透镜，试件、光电探测器、数据采集与处理系统、光纤夹持器、一维导轨、二维精密平移台、显微镜、底座、支架和信号发生器。光纤光栅和试件分别与激光器的出射端面构成参考外腔和测量外腔，产生两重外腔自混合干涉现象，数据采集与处理系统采用正交解调技术分析得到的自混合信号，最后可以计算得出试件的位移量。本发明的光纤干涉仪结构很适用于微机械和MEMS器件的纳米级位移和振动的测量，更接近实用化。

主权项

光纤型激光自混合干涉仪，其特征在于：所述干涉仪包括分布反馈半导体激光器（1）、保偏光纤耦合器（2）、线内起偏器（3）、单模光纤（4）、电光调制器（5）、光纤光栅（6）、梯度折射率透镜（7），试件（8）、光电探测器（9）、数据采集与处理系统(10)、光纤夹持器(11）、一维导轨（12）、二维精密平移台（13）、显微镜（14）、底座（15）、支架(16)和信号发生器（17），所述一维导轨（12）、二维精密平移台（13）、试件（8）依次固定在所述底座（15）的中心，所述支架（16）固定在所述底座（15）的两侧，所述显微镜（14）和光纤夹持器（11）装在所述支架（16）上，所述单模光纤（4）依次连接所述激光器（1）、保偏光纤耦合器（2）、线内起偏器（3）、电光调制器（5）、光纤光栅（6）和梯度折射率透镜（7），并由所述光纤夹持器(11) 固定，所述信号发生器（17）的输出端与所述电光调制器（5）连接。