[发明专利]一种应用于石英晶振片的旋转镀膜装置

摘要

一种应用于石英晶振片的旋转镀膜装置，包括密封室、旋转镀膜器和气温控制系统；旋转镀膜器位于密封室内，由旋转机构、镀膜盘和石英晶振片固定部分组成，旋转机构包括电机、旋转轴、基座和电机无极调速器，镀膜盘包括转盘和托盘，托盘中心通过螺栓与旋转轴端部的法兰盘固定，石英晶振片固定部分包括两个硅胶管、接线端子和紧固螺栓，气温控制系统包括鼓风机、电加热器、热电偶和电器控制仪表，并通过导线连接。该装置的优点是：结构简单、易于操作、适用性强，可在石英晶振片上快速、均匀地形成敏感膜，方便快捷而且镀膜成本低廉，适合大规模的批量生产。

主权项

一种应用于石英晶振片的旋转镀膜装置，其特征在于：包括密封室、旋转镀膜器和气温控制系统；密封室为长方体结构，密封室上面中心设有进液口，侧面分别设有进气口和出气口，在密封室内进气口处设有挡板；旋转镀膜器位于密封室内，由旋转机构、镀膜盘和石英晶振片固定部分组成，旋转机构包括电机、旋转轴、基座和电机无极调速器，电机固定于基座上并通过基座固定于密封室底板中心，旋转轴端部固定有法兰盘，电机通过导线与固定于密封室外部的电机无极调速器连接，镀膜盘包括转盘和托盘，转盘为圆筒型结构，转盘的筒壁上设有两个穿线孔，托盘为圆形平板，转盘固定于托盘的中心，托盘中心通过螺栓与旋转轴端部的法兰盘固定，石英晶振片固定部分包括两个硅胶管、接线端子和紧固螺栓，两个硅胶管分别穿过转盘筒壁上的两个穿线孔并与转盘固定，石英晶振片的两根引线分别穿过两个硅胶管伸入接线端子并通过紧固螺栓与接线端子固定，石英晶振片固定部分通过接线端子与托盘固定；气温控制系统包括鼓风机、电加热器、热电偶和电器控制仪表，鼓风机出口通过管道与密封室的进气口连接，电加热器设置于鼓风机出口与密封室的进气口之间的管道内，热电偶固定于密封室内，鼓风机、电加热器和热电偶通过导线与电器控制仪表连接。