[发明专利]用于滴下液体的设备有效
申请号: | 201010262921.7 | 申请日: | 2010-08-24 |
公开(公告)号: | CN102019255A | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 李龙;金光寿;白种化;边世勋 | 申请(专利权)人: | AP系统股份有限公司 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C11/11;B05C11/08;B05C13/02;G02F1/1341 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 韩国京畿道*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种用于滴下液体的设备,其包含:台,其经配置以支撑衬底;台架,其定位于所述台上;多个垫块,其安装在所述台架上,所述垫块在第一方向上彼此间隔开布置着;多个卸料单元,其定位于所述垫块下方,且与所述垫块间隔开,所述卸料单元在所述第一方向上彼此间隔开布置着,且所述卸料单元经配置以将液体卸放到所述衬底上;以及第一驱动单元,其经配置以水平传送每个所述卸料单元。因此,重量相对较高的所述垫块不必移动,以防止在卸料单元水平移动并将所述液体卸放到所述衬底上时可能在所述垫块移动的同时产生的粒子。 | ||
搜索关键词: | 用于 滴下 液体 设备 | ||
【主权项】:
一种用于滴下液体的设备,其包括:台,上面放置衬底;台架,其设置于所述台上;多个垫块,其安装在所述台架上,且在第一方向上彼此间隔开布置着;多个卸料单元,其定位于所述垫块下方,且与所述垫块间隔开,所述卸料单元在所述第一方向上彼此间隔开布置着,且所述卸料单元经配置以将液体卸放到所述衬底上;以及第一驱动单元,其经配置以水平传送每个所述卸料单元。
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