[发明专利]小型化低成本的光致发光扫描测量装置无效
| 申请号： | 201010262551.7 | 申请日： | 2010-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN101949845A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 魏文雄;何建军 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G02B6/26 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 周烽 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种小型化低成本的光致发光扫描测量装置，它包括：激光器、耦合装置、光纤耦合器、电动样品台、光谱仪、系统控制器；本发明通过使用光纤光路来取代原有的空间光路，简化了对光路的调节步骤，去除了大量的机械固定装置和机械调整装置，使用小型化的光谱仪，降低了成本，实现了整套装置的小型化，使用了系统控制器控制电动样品台和光谱仪还可以实现对大块样品的扫描检测。 | ||
| 搜索关键词： | 小型化 低成本 光致发光 扫描 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种小型化低成本的光致发光扫描测量装置，其特征在于，它包括：激光器(1)、耦合装置(2)、光纤耦合器(3)、电动样品台(5)、光谱仪(6)、系统控制器(8)。其中，耦合装置(2)由五维调节架和显微镜物镜组成，激光器(1)的出射光通过显微镜物镜的中心并聚焦在光纤耦合器(3)的一个光纤端口上，光纤耦合器(3)同侧的另一个光纤端口连接光谱仪(6)，光纤耦合器(3)另一侧的一个光纤端口在电动样品台(5)的上方。电动样品台(5)和光谱仪(6)分别通过数据线连接到系统控制器(8)上。
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