[发明专利]多晶硅破锭方法有效
| 申请号： | 201010259301.8 | 申请日： | 2010-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN101913210A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 张晓方;高文宽;王宏刚;任军海 | 申请（专利权）人： | 英利能源(中国)有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种多晶硅锭破锭方法，包括：步骤1：向浆料缸中打入冷却液，将多晶硅锭粘接到托盘上；步骤2：将金刚石钢线安装于所述工作台上的放线轴上以低张力值进行走线形成线网，设置好高线位及低线位后以高张力值进行走线；步骤3：将固定好的多晶硅锭的托盘装入机床，并调整所述托盘的位置使四周边料切割厚度相等，下降工作台，底部线网差1mm接触硅锭表面最高点，并设置为零点；步骤4：关闭所有滑动门，设置切割参数开始切割，所述切割参数包括：工作台速度、线速度、流量、张力和回线率。本发明中的实施例采用金刚石钢线进行切割提高破锭工艺的生产效率，相应降低了工艺中制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 硅破锭 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅锭破锭方法，其特征在于，包括：步骤1：向浆料缸中打入冷却液，将多晶硅锭粘接到托盘上；步骤2：将金刚石钢线安装于所述工作台上的放线轴上以低张力值进行走线形成线网，设置好高线位及低线位后以高张力值进行走线；步骤3：将固定好的多晶硅的托盘装入机床，并调整所述托盘的位置使四周边料切割厚度相等，下降工作台，底部线网差1mm接触硅锭表面最高点，并设置为零点；步骤4：关闭所有滑动门，设置切割参数开始切割，所述切割参数包括：工作台速度、线速度、流量、张力和回线率。
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