[发明专利]镀膜加工方法无效
| 申请号： | 201010258983.0 | 申请日： | 2010-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN102373407A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种镀膜加工方法，其包括以下步骤：提供一个工件，该工件具有一个待加工形成图案的第一表面；采用物理气相沉积法对该第一表面沉积一膜层；提供一个遮罩，该遮罩的形状与待形成的图案的形状相同，该遮罩与该工件可磁性相吸；将该遮罩吸附于该第一表面并遮蔽已镀膜的该第一表面的预定区域；利用磁力研磨去除该第一表面的该预定区域之外的膜层；去除该遮罩以于该工件的第一表面获得该图案。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种镀膜加工方法，其包括以下步骤：提供一个工件，该工件具有一个待加工形成图案的第一表面；采用物理气相沉积法对该第一表面沉积一膜层；提供一遮罩，该遮罩的形状与待形成的图案的形状相同，该遮罩与该工件可磁性相吸；将该遮罩吸附于该第一表面并遮蔽已镀膜的该第一表面的预定区域；利用磁力研磨去除该第一表面的该预定区域之外的膜层；去除该遮罩以于该工件的第一表面获得该图案。
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