[发明专利]测试装置有效
| 申请号： | 201010253365.7 | 申请日： | 2010-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN102278941A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 刘荣玙;刘俊良;周来平 | 申请（专利权）人： | 思达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01N21/88 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 郑小军;冯志云 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的一实施例的测试装置包含一壳体；至少一探针载台，设置于该壳体内且经配置以承接至少一探针；一元件承座，设置于该壳体内且经配置以承接一待测半导体元件；以及一检视模块，具有一预定视野且经配置以提取至少该待测半导体元件的图像。在本发明的一实施例中，该探针载台包含一驱动单元，经配置以于一映象阶段中移动该探针，使得该探针离开该检视模块的焦点，较佳地，离开该检视模块的聚焦深度，并保持该待测半导体元件在检视模块的视野内，进而实现在承载探针时进行元件映象功能。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种测试装置，包含：一壳体；至少一探针载台，设置于该壳体内且经配置以承接至少一探针；一元件承座，设置于该壳体内且经配置以承接一待测半导体元件；以及一检视模块，具有一预定视野且经配置以提取至少该待测半导体元件的图像；其中该探针载台包含一驱动单元，其经配置以于一映象阶段中移动该探针，使得该探针离开该检视模块的焦点。
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