[发明专利]微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器及其制备方法有效
| 申请号： | 201010240185.5 | 申请日： | 2010-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN102255128A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;张志强 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01P5/18 | 分类号： | H01P5/18;H01P11/00;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 黄明哲 |
| 地址： | 210009 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器及其制备方法，耦合器为四端口微波器件，包括主线和副线，四端口为主线输入端口、主线输出端口、副线耦合输出端口和副线隔离端口，以砷化镓衬底为基底，在基底上设置主线和副线，副线与主线耦合的部分设有MEMS固支梁，MEMS固支梁作为副线的一段耦合线段；MEMS固支梁下方设有驱动电极，对应驱动电极在副线外侧设有压焊块，通过引线与驱动电极连接。本发明的微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器不但具有传统定向微波功率耦合器的低损耗、高隔离度和良好的方向性的特点，而且通过控制MEMS固支梁的驱动电压使该微波功率耦合器能够实现耦合和不耦合两种状态，减少不必要的功率损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 固支梁式 定向 微波 功率 耦合器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器，为四端口微波器件，包括主线(5)和副线(6)，四端口为主线输入端口(1)、主线输出端口(2)、副线耦合输出端口(3)和副线隔离端口(4)，其特征是以砷化镓衬底(19)为基底，在基底上设置主线(5)和副线(6)，副线(6)与主线(5)耦合的部分设有MEMS固支梁(9)，MEMS固支梁(9)作为副线(6)的一段耦合线段，并位于副线(6)中部；MEMS固支梁(9)下方设有驱动电极(11)，对应驱动电极(11)在副线(6)外侧设有电输入压焊块(18)，通过引线(17)与驱动电极(11)连接。
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