[发明专利]平板厚度的连续测量方法无效
| 申请号： | 201010237559.8 | 申请日： | 2010-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102338629A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 江少杰 | 申请（专利权）人： | 新杰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B21/02 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平板厚度的连续测量方法，主要以一非接触式的探测源进行检测，通过测量平台的移动或旋转，使探测源可连续取得复数个被测量物表面的连续多处的高度值，再经由测量待测物两端平台表面至少二点的高度及平板表面任一点的高度值后，以计算取得平板表面任一点的厚度，以降低被测量物受到承载被测量物的平台平行度、平台表面缺陷及异常的粉尘的影响而造成测量上的误差，以增加测量的准确性，并提升测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 厚度 连续 测量方法 | ||
【主权项】：
一种平板厚度的连续测量方法，其特征在于，包括：a.将复数个平板放置于一测量平台上；b.水平移动或旋转测量平台，并以一非接触式的探测源在至少一个测量轨迹上进行测量，以取得复数个被测量平板表面的高度值；c.在测量轨迹上邻近待测平板两端的测量平台表面取得二点以上的高度值；d.测量平板表面的高度值，并比较测量平台表面所取得的二点以上的高度值，以计算取得平板表面任一点的厚度。
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