[发明专利]光源装置有效
| 申请号： | 201010237314.5 | 申请日： | 2010-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN101989048A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 横田利夫 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F21K99/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陆锦华;关兆辉 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种光源装置，能够稳定地维持点亮开始后的高温等离子体状态从而稳定地维持发光，并抑制因发光管的加热引起的点亮寿命降低。向内部封入有发光气体的发光管(1)，从脉冲激光振荡部(21)入射脉冲式激光束，并从连续波激光振荡部(25)入射连续波激光束，以在发光管内两光束重合的方式进行聚光。在点亮开始时，由脉冲式光束形成高温等离子体状态，在形成高温等离子体状态的位置，使比脉冲式光束强度小的连续波光束重合，由此能够稳定地维持高温等离子体状态。此外，由于连续波光束强度较小，因此能够使发光管不被加热而达到长寿命。作为使光束在发光管内聚光的光学单元，可使用例如衍射光学元件(31)、凸透镜、抛物面反射镜等。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 装置 | ||
【主权项】：
一种光源装置，其特征在于，包括：封入有发光元素的发光管；朝向该发光管放射脉冲激光束的脉冲激光振荡部；以及朝向该发光管放射连续波激光束的连续波激光振荡部。
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