[发明专利]在线等离子清洗机

摘要

本发明提供了一种在线等离子清洗机，解决了现有设备存在自动化程度低容易造成二次污染的问题。包括在清洗机机架(22)内设置的引线框架承载器的夹紧及固定装置(16)、视觉定位系统(17)、工业控制机(18)、传输系统(20)、真空提升系统(21)，在真空提升系统(21)中设置有门字形的立板支架(1)和导轨(5)，在导轨(5)上活动设置有连接板与提升气缸(4)的活塞杆连接在一起，在连接板的前面板上固定设置有一对L形悬臂(8)，在L形悬臂(8)的端部悬挂有反应仓上盖(3)，在反应仓的侧壁上设置有等离子清洗气体的进气阀(15)，反应仓内设置有等离子射频源。克服了清洗过程中的二次污染，提高了成品率。

主权项

一种在线等离子清洗机，包括在清洗机机架(22)内设置的引线框架承载器的夹紧及固定装置(16)、视觉定位系统(17)、工业控制机(18)、传输系统(20)、真空提升系统(21)，其特征在于，在所述的真空提升系统(21)中设置有门字形的立板支架(1)，在该立板支架(1)上设置有垂直上下方向的导轨(5)，在导轨(5)上活动设置有连接板，该连接板与固定设置在门字形的立板支架(1)的背面上的提升气缸(4)的活塞杆连接在一起，在连接板的前面板上固定设置有一对L形悬臂(8)，在L形悬臂(8)的端部悬挂有反应仓上盖(3)，反应仓上盖(3)通过密封圈(7)与反应仓下盖(2)扣接在一起，反应仓上盖(3)与反应仓下盖(2)扣接组成反应仓，在反应仓上盖(3)上设置有气动角阀(13)，在反应仓内设置有电源正极板(12)，电源正极板(12)与反应仓的侧壁上设置的电源正极引入端(14)固定连接在一起，在反应仓的侧壁上设置有等离子清洗气体的进气阀(15)，在电源正极板(12)与反应仓的内侧壁之间设置有分离电源正负极的绝缘条(11)，在反应仓上设置有真空测量仪(10)，反应仓内设置有等离子射频源。