[发明专利]用于检测和/或发射电磁辐射的器件及其制造方法

摘要

用于检测和/或发射电磁辐射的器件及其制造方法。该器件具有在真空或降低的压力下的密封微封装，该微封装具有定义密封腔室的盖和基板。腔室密封：至少一个非冷却的热检测器和/或发射器，该热检测器和/或发射器具有对电磁辐射敏感且悬挂于所述基板上方的膜；反射器，用于将电磁辐射朝向膜反射；以及至少一个吸气器。吸气器布置在反射器的第二主表面的至少一部分上以形成反射器/吸气器组件。自由空间还形成在反射器/吸气器组件与基板的前表面之间，自由空间释放吸气器的可到达表面并与腔室连通。

主权项

一种用于检测和/或发射电磁辐射的器件，该器件具有在真空或降低的压力下的密封微封装(7)，该密封微封装(7)包括盖(9)和基板(3)，该盖(9)和该基板(3)定义紧密密封的腔室(10)，所述腔室(10)密封：至少一个非冷却的热检测器和/或发射器(1)，具有对电磁辐射敏感且悬挂于基板(3)之上的膜(2)，反射器(17)，用于将所述电磁辐射朝向所述膜(2)反射，以薄层的形式布置在所述基板(3)的前表面(12)与所述膜(2)之间，所述反射器(17)具有面对所述膜(2)的第一主表面(18)和面对所述基板(3)的前表面(12)的第二主表面(19)，以及至少一个吸气器(20)，该器件的特征在于，所述吸气器(20)布置在所述反射器(17)的所述第二主表面(19)的至少一部分上以形成反射器/吸气器组件(22)，自由空间(23)形成在所述反射器/吸气器组件(22)与所述基板(3)的所述前表面(12)之间，该自由空间(23)释放所述吸气器的可到达表面(24)并与所述腔室(10)连通。