[发明专利]基于SOI的外脊布拉格波导光栅无效
| 申请号： | 201010210261.8 | 申请日： | 2010-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101859002A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 姜国敏;周强;杨建义;王明华;江晓清 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于SOI的外脊布拉格波导光栅，在衬底氧化硅的一个侧面上设置硅基脊波导，硅基脊波导的一端为输入端口，另一端为输出端口。外脊布拉格波导光栅设置在硅基脊波导的一侧或两侧外脊平板区。它利用光栅区与脊的距离的不同，达到对光栅反射峰带宽的控制，并通过改变光栅齿的长度，方便地抑制光栅侧峰。通过对结构参数的优化，可满足各种带宽及低侧峰光栅的需求。本发明具有结构通俗，工艺简单，设计灵活，功能性强等特点，在光开光、光波分复用网络等方面有广泛的应用前景和应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 soi 布拉格 波导 光栅 | ||
【主权项】：
一种基于SOI的外脊布拉格波导光栅，在衬底氧化硅(3)的一个侧面上设置硅基脊波导(2)，硅基脊波导(2)的一端为输入端口(1)，另一端为输出端口(5)；其特征在于：外脊布拉格波导光栅设置在硅基脊波导(2)的一侧或两侧外脊平板区(4)。
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