[发明专利]一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动系统有效
| 申请号： | 201010208947.3 | 申请日： | 2010-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN102296273A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 魏庆瑄;李惠 | 申请（专利权）人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海衡方知识产权代理有限公司 31234 | 代理人： | 卞孜真 |
| 地址： | 201617 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动端头，其包括聚甲醛基座(1)、驱动头壳体(2)、驱动轴(3)、驱动齿轮(30)、从动齿轮(31)、轴套(4)、输入轴头(40)、磁芯轴(41)、冷却水管接口(5)、电刷接线柱(6)、电刷装置(60)、靶材(9)、前端盖(10)、后端盖(11)，其中，驱动齿轮(30)为锥齿轮，设置在驱动轴(3)下端，从动齿轮(31)也为锥形齿轮，两者通过锥齿轮传动方式进行传动，聚甲醛基座(1)与驱动头壳体(2)，电刷接线柱(6)相接处采用静密封(7)结构密封，与驱动轴(3)相接处采用动密封(8)结构密封，另外，轴套(4)与前、后端盖(10、11)相接处采用双道动密封(8)结构密封，本发明的技术效果是镀膜效率高，驱动系统寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 磁控溅射 镀膜 旋转 阴极 驱动 系统 | ||
【主权项】：
一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动系统，包括聚甲醛基座(1)、驱动头壳体(2)、驱动轴(3)、驱动齿轮(30)、从动齿轮(31)、轴套(4)、输入轴头(40)、磁芯轴(41)、冷却水管接口(5)、电刷接线柱(6)、电刷装置(60)、靶材(9)、前端盖(10)、后端盖(11)、油杯(100)，其中，所述驱动齿轮(30)设置在驱动轴(3)下端，其特征在于，所述驱动齿轮(30)为锥齿轮，所述从动齿轮(31)为锥形齿轮，所述驱动齿轮(30)与从动齿轮(31)通过锥齿轮传动方式进行传动，所述聚甲醛基座(1)与驱动头壳体(2)相接处采用静密封(7)结构密封，所述聚甲醛基座(1)与驱动轴(3)相接处采用动密封(8)结构密封，所述聚甲醛基座(1)与电刷接线柱(6)相接处采用静密封(7)结构密封，所述轴套(4)与前端盖(10)或后端盖(11)相接处采用双道动密封(8)结构密封，所述驱动头壳体(2)与前端盖(10)或后端盖(11)接合处采用静密封(7)结构密封。
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