[发明专利]LED式固态红外薄膜厚度测量方法无效
| 申请号： | 201010208325.0 | 申请日： | 2010-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN101839695A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 何平;何露雅;杨旭东;刘俊武;钱玉恒 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张果瑞 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | LED式固态红外薄膜厚度测量方法，属于塑料薄膜厚度光学测量领域，本发明为解决采用传统的红外透射法测量薄膜厚度测量误差大、响应速度低的问题。本发明方法为：吸收光LED在光源调制电路的控制下输出波长3.4μm的光脉冲，参比光LED在光源调制电路的控制下后输出波长3.1μm的光脉冲，所述两路不同波长的光同时打在薄膜的同一位置上，透过薄膜的两路光由PbSe传感器吸收并输出电压信号，信号运算和处理单元在光源调制电路输出的同步控制信号的控制下接收所述电压信号，信号运算和处理单元根据接收的电压信号获取薄膜的厚度信息。本发明方法用于在线测量薄膜的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | led 固态 红外 薄膜 厚度 测量方法 | ||
【主权项】：
一种LED式固态红外薄膜厚度测量方法，其特征在于，该方法为：吸收光LED（2）在光源调制电路（1）的控制下输出波长3.4μm的光脉冲，参比光LED（3）在光源调制电路（1）的控制下后输出波长3.1μm的光脉冲，所述两路不同波长的光同时打在薄膜（4）的同一位置上，透过薄膜（4）的两路光由PbSe传感器（5）吸收并输出电压信号，信号运算和处理单元（6）在光源调制电路（1）输出的同步控制信号的控制下接收所述电压信号，信号运算和处理单元（6）根据接收的电压信号获取薄膜（4）的厚度信息。
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