[发明专利]微电子机械开关电介质注入的测试结构及其制备方法

摘要

本发明的微电子机械开关电介质注入的测试结构具有实验结果精确，可比较性强，对测试仪器的要求简单等特点。该结构以砷化镓为衬底，在衬底上设有CPW、一分二功率分配器、对称的梁结构。本发明的测试结构把两个相同的梁结构与两个可变电阻，以及电流计相连，形成一个电桥结构。两个相同的梁结构具有独立的驱动电极；在电桥结构中，两个梁结构相连组成电桥的两个相邻的电桥臂且共用一个信号输入端，两个可变电阻相连组成电桥的另两个相邻电桥臂且共用一个信号输出端，两个梁结构分别与两个可变电阻相串连形成电桥结构。在机械结构上，CPW(a)、一分二功率分配器(b)、梁结构(c)设置在同一块衬底(1)上。

主权项

一种微电子机械开关电介质注入的测试结构，其特征在于该测试结构具有进行可比较性测试的两个相同的梁结构，该两个相同的梁结构具有独立的驱动电极；在电桥结构中，两个梁结构相连组成电桥的两个相邻的电桥臂且共用一个信号输入端，两个可变电阻相连组成电桥的另两个相邻电桥臂且共用一个信号输出端，两个梁结构分别与两个可变电阻相串连形成电桥结构；在机械结构上，CPW(a)、一分二功率分配器(b)、梁结构(c)设置在同一块衬底(1)上：CPW(a)由CPW信号线(3)和CPW地线(4)构成；梁结构(c)包括两个完全一样的梁结构，梁结构是固支梁(11)，或是悬臂梁(12)，固支梁(11)横跨在CPW(a)上，两个锚区(13)分别位于CPW的两个地线(4)上，固支梁(11)下面的CPW信号线(3)被氮化硅介质层(10)覆盖，而悬臂梁(12)则为插入式，即CPW信号线(3)除去一段，梁的锚区(13)位于CPW信号线(3)断开的一端，梁的接触端悬空但与CPW信号线(3)断开的另一端交叠；驱动电极(14)上覆盖氮化硅介质层(10)，固支梁结构的两个驱动电极(14)位于CPW信号线(3)与CPW的地线(4)的空隙上，而悬臂梁结构的驱动电极(14)位于CPW信号线(3)的断开处；驱动电极的引线(15)从CPW地线(4)的断开处引出，而CPW地线(4)的断开处用空气桥(16)连接。