[发明专利]测温装置及测温系统无效
| 申请号： | 201010199367.2 | 申请日： | 2010-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN102269629A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 蒲春 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01K7/04 | 分类号： | G01K7/04 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100026 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种测温装置及测温系统，涉及温度测量技术，能够准确地测量载板的温度。本发明实施例中的测温装置，包括热电偶、以及带动所述热电偶移动的动力装置；其中，所述热电偶通过连接杆固定到所述动力装置上；所述连接杆的一端设有所述热电偶，其另一端固定到所述动力装置上；在进行温度测量时，所述动力装置通过所述连接杆带动所述热电偶移动，使所述热电偶与待测物体接触以进行温度测量。本发明实施例还提供了一种使用上述测温装置的测温系统。本发明实施例提供的方案适用于对密闭腔室内的待测物体进行温度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 测温 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种测温装置，其特征在于，包括热电偶、以及带动所述热电偶移动的动力装置；其中，所述热电偶通过连接杆固定到所述动力装置上；所述连接杆的一端设有所述热电偶，其另一端固定到所述动力装置上；在进行温度测量时，所述动力装置通过所述连接杆带动所述热电偶移动，使所述热电偶与待测物体接触以进行温度测量。
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