[发明专利]用于生产大尺寸合成石英玻璃基板的方法有效
| 申请号： | 201010190487.6 | 申请日： | 2010-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101856805A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 柴野由纪夫;渡部厚 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;C03B20/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及用于生产大尺寸合成石英玻璃基板的方法。该方法通过测量合成石英玻璃基板原料的前表面和后表面的平面度和平行度，所述合成石英玻璃基板原料的对角线长度至少为1000mm，并基于测量的平面度和平行度的数据部分地去除基板原料的凸起部分和厚的部分，生产大尺寸合成石英玻璃基板。去除步骤包括使用第一加工工具的研磨加工和使用第二加工工具的研磨加工，第一加工工具的直径对应于基板对角线长度的15～50％，第二加工工具具有较小的直径。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 尺寸 合成 石英玻璃 方法 | ||
【主权项】：
一种用于生产大尺寸合成石英玻璃基板的方法，包含以下步骤：在使大尺寸合成石英玻璃基板原料保持竖直时，测量该基板原料的前表面和后表面的平面度和平行度，所述基板原料的对角线长度至少为1000mm；和基于测量的平面度和平行度的数据部分地去除基板原料的凸起部分和厚的部分，以生产大尺寸合成石英玻璃基板，所述去除步骤包括使用第一加工工具的研磨加工和使用第二加工工具的研磨加工，所述第一加工工具的直径对应于基板对角线长度的15～50％，所述第二加工工具的直径小于第一加工工具的直径。
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