[发明专利]一种基于生物材料表面结构的纳米压印模板及其制备方法有效
| 申请号： | 201010189716.2 | 申请日： | 2010-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101859066A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 杜祖亮;丁万勇;戴树玺;张兴堂 | 申请（专利权）人： | 河南大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 刘建芳 |
| 地址： | 47500*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明属于纳米加工技术领域，公开了一种基于生物材料表面结构的纳米压印模板及其制备方法。包括表面具有纳米结构的生物材料，在其具有纳米结构的那一表面覆盖有厚度为1～3μm的无机薄膜。以具有纳米结构的生物材料为基底，以金属材料或硅类无机材料为溅射靶，以惰性气体为工作气体，利用离子束溅射沉积法在基底具有纳米结构的那一表面沉积无机薄膜，沉积条件为：屏极电压1780～1820V，阳极电压为68～72V，加速极电压为98～102V，阴极放电电流12.3～12.7A，束流45～55mA，惰性气体流为8.7～8.9sccm，室内压强2.3×10-2～2.5×10-2Pa，沉积时间为235～245min，基底温度保持在31～35℃。本发明纳米压印模板结构简单，制备方法具有低成本、高效率的特点，不需要对压印阻挡层和模板进行疏水化处理，压印后易分离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 生物 材料 表面 结构 纳米 压印 模板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于生物材料表面结构的纳米压印模板，其特征在于：包括表面具有纳米结构的生物材料，在其具有纳米结构的那一表面覆盖有厚度为1～3μm的无机薄膜。
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