[发明专利]一种在三维任意曲面上复制微纳结构的方法无效
| 申请号： | 201010189589.6 | 申请日： | 2010-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101881925A | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 鱼卫星;张登英;卢振武;孙强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种在三维任意曲面上复制微纳结构的方法，涉及微纳加工领域，它解决了现有获得微纳结构的方法步骤繁多，且加工过程费时，不适合大口径大批量加工的问题，本发明的方法为：将柔性模板紧密贴到涂覆有高分子薄膜的三维曲面基底表面，然后对所述三维曲面基底表面在140℃的温度下加热30分钟后，所述高分子薄膜在毛细力的作用下流向柔性模板的空腔；然后将三维曲面基底表面的温度下降至室温，获得采用毛细力光刻的固定的微纳结构形状；所述的柔性模板和三维曲面基底表面分离，获得三维曲面上的微纳结构。本发明适用于微细加工、微纳制造领域等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 任意 曲面 复制 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种在三维任意曲面上复制微纳结构的方法，其特征是，该方法由以下步骤完成：步骤一、将柔性模板(4)紧密贴到涂覆有高分子薄膜(5)的三维曲面基底(2)表面，然后对所述三维曲面基底(2)表面进行加热，加热温度由室温上升至140℃；步骤二、对步骤一所述的三维曲面基底(2)表面在140℃的温度下加热30分钟，所述高分子薄膜(5)在毛细力的作用下流向柔性模板(4)的空腔；步骤三、将步骤二所述的三维曲面基底(2)表面的温度下降至室温，获得固定的微纳结构形状；步骤四、将步骤一所述的柔性模板(4)和步骤三所述的三维曲面基底(2)表面分离，获得三维曲面上的衍射光栅。
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