[发明专利]微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置无效
| 申请号： | 201010179504.6 | 申请日： | 2010-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN101867158A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 胡永生;叶淑娟;秦莉;张楠;宁永强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;H01S5/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置，涉及半导体器件集成装调技术领域。为解决现有微透镜阵列与二极管激光器陈列集成时，两者间的相对位置难以准确定位的问题，本发明将微透镜阵列和二极管激光器阵列置于真空吸附台，与二极管激光器阵列相连的吸附台置于微调架上，启用超声测厚仪，粗调微调架z方向旋钮和旋转旋钮，使微透镜阵列与二极管激光器阵列靠近。继续微调z方向旋钮，使微透镜阵列与二极管激光器阵列近一步靠近，通过显微镜微调x、y方向旋钮及旋转旋钮，观察对准标记，精确对准。固定微透镜阵列与二极管激光器阵列，完成集成。本发明的集成装置适用于微透镜阵列与CCD阵列集成领域。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 阵列 二极管 激光器 集成 微调 方法 装置 | ||
【主权项】：
微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法，其特征是，该方法的具体步骤为：步骤一、将微透镜阵列(5)和二极管激光器阵列(7)分别固定在第一真空吸附台(3)和第二真空吸附台(4)上，并且将所述第二真空吸附台(4)固定在微调架(8)上；步骤二、启动超声测厚仪(1)，调整微调架(8)，将步骤一所述的二极管激光器阵列(7)向微透镜阵列(5)靠近，实现初步对准；所述靠近的距离根据所述超声测厚仪(1)的量程而定；步骤三、调整微调架(8)上的z方向旋钮(8-3)，将步骤二所述的微透镜阵列(5)与二极管激光器阵列(7)进一步靠近，获得目标间距时停止调整微调架(8)上的z方向旋钮(8-3)；步骤四、调整微调架(8)上的x方向旋钮(8-1)和y方向旋钮(8-2)及旋转旋钮(8-4)，观察显微镜(2)通过对准标记实现对准；步骤五、将微透镜阵列(5)与二极管激光器阵列(7)进行固定，实现精确对准。
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