[发明专利]垂直发射量子级联激光器结构无效
申请号: | 201010171511.1 | 申请日: | 2010-05-07 |
公开(公告)号: | CN101847828A | 公开(公告)日: | 2010-09-29 |
发明(设计)人: | 郭万红;刘俊岐;陆全勇;张伟;江宇超;李路;王利军;刘峰奇;王占国 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183;H01S5/187;H01S5/343 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种垂直发射量子级联激光器结构,包括:一衬底,在该衬底上依次生长有波导层、有源层和接触层;金属光栅层,该金属光栅层位于接触层的上面,并且该金属光栅层具有二级布拉格周期。 | ||
搜索关键词: | 垂直 发射 量子 级联 激光器 结构 | ||
【主权项】:
一种垂直发射量子级联激光器结构,包括:一衬底,在该衬底上依次生长有波导层、有源层和接触层;金属光栅层,该金属光栅层位于接触层的上面,并且该金属光栅层具有二级布拉格周期。
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