[发明专利]复合基板及使用其的弹性波器件无效
申请号: | 201010171034.9 | 申请日: | 2010-04-28 |
公开(公告)号: | CN102130663A | 公开(公告)日: | 2011-07-20 |
发明(设计)人: | 铃木健司 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H03H9/05 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种复合基板,其用于弹性表面波器件,耐热性优异。复合基板(10)具有:压电基板(12),其由钽酸锂(LT)形成,能够传播弹性波;支持基板(14),其在方位(111)面通过有机粘合层粘合于上述压电基板(12)的背面,其为热膨胀系数小于所述压电基板的硅制支持基板;粘合两基板(12)、(14)的粘合层(16)。 | ||
搜索关键词: | 复合 使用 弹性 器件 | ||
【主权项】:
一种复合基板,其具有:压电基板,所述压电基板能够传播弹性波;支持基板,所述支持基板在方位(111)面通过有机粘合层粘合于上述压电基板的背面,为热膨胀系数小于所述压电基板的硅制支持基板。
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