[发明专利]溅镀装置无效
| 申请号： | 201010169387.5 | 申请日： | 2010-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN102242344A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种溅镀装置，其包括一个溅镀腔体、一个设置于该溅镀腔体内的固定架、多个设置于该固定架上且用于悬挂待镀工件的料杆及一个位于该溅镀腔体内的进气装置。该进气装置包括一个进气管及与该多个料杆对应设置的多个导气管。每个导气管包括一个与该进气管连通的进气端及一个与该进气端相对的封闭端。每个导气管在该进气端和该封闭端之间设有多个气孔。通过进气装置使溅镀腔体内未完全反应的气体与从该导气管通入的气体完全反应，从而保证镀膜品质。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置，其包括一个溅镀腔体、一个设置于该溅镀腔体内的固定架及多个设置于该固定架上且用于悬挂待镀工件的料杆，其特征在于：该溅镀装置还包括一个位于该溅镀腔体内的进气装置，该进气装置包括一个进气管及与该多个料杆对应设置的多个导气管，每个导气管包括一个与该进气管连通的进气端及一个与该进气端相对的封闭端，每个导气管在该进气端和该封闭端之间设有多个气孔。
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