[发明专利]一种多边形电极的压电薄膜体声波传感器无效
| 申请号： | 201010164347.1 | 申请日： | 2010-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101846653A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 顾豪爽;熊娟;吴雯;杜鹏飞;胡明哲;胡永民 | 申请（专利权）人： | 湖北大学 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036;B81B3/00 |
| 代理公司： | 武汉金堂专利事务所 42212 | 代理人： | 丁齐旭 |
| 地址： | 430062 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种具有多边形电极的薄膜体声波传感器，它包括衬底、压电薄膜、分布于压电薄膜两表面的上下金属电极、电极引线以及覆盖在所述上电极表面的敏感膜。压电薄膜上的上下电极有一个或者两个是多边形，该多边形为任意两边不平行、内角均为钝角、边数小于10的多边形，其中正五边形的效果最好。本发明减小微波信号在平行边及锐角或直角处产生较强的反射，提高声波的振动效率，改善了器件的品质因数和测试灵敏度，增加了传感器的负载测试范围。本传感器同时还具有结构简单、制作方便、可靠性高、可采用微机械加工(MEMS)工艺流程制作等优点，也可用于其它声波谐振器和传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多边形 电极 压电 薄膜 声波 传感器 | ||
【主权项】：
一种具有多边形电极的薄膜体声波传感器，包括衬底、压电薄膜、上下金属电极、电极引线以及覆盖在上电极表面的敏感膜，其特征在于压电薄膜两表面的上下电极有一个或者两个是多边形，该多边形为任意两边不平行、内角均为钝角、边数小于10的多边形。
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