[发明专利]敞开式激光限束扫描标尺光栅传感器有效
| 申请号： | 201010152935.3 | 申请日： | 2010-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN102192761A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 许兴智;陈永福;张一钢;许殊罡;高峰;史淑华 | 申请（专利权）人： | 廊坊开发区莱格光电仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 065001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了敞开式激光限束扫描标尺光栅传感器，包括标尺光栅，以及配合设置在所述标尺光栅上方的光栅读数头构件组、激光限束光电扫描系统、以及电路处理与相位监测系统。本发明所述敞开式激光限束扫描标尺光栅传感器，可以克服现有技术中精度低、光栅副的工作间隙量小、光栅副工作间隙量的公差带小、以及成本高等缺陷，以实现测量分辨率高、测量准确度高、使用寿命长、可靠性高、制造难度小、以及成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 敞开 激光 扫描 标尺 光栅 传感器 | ||
【主权项】：
一种敞开式激光限束扫描标尺光栅传感器，其特征在于，包括标尺光栅，以及配合设置在所述标尺光栅上方的光栅读数头构件组、激光限束光电扫描系统、以及电路处理与相位监测系统。
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