[发明专利]高精度曝光镜头单元的集成装校装置

摘要

本发明提出一种高精度曝光镜头单元的集成装校装置，包括：镜片调整定位机构和镜座调整定位机构，其中所述镜片调整定位机构包括：镜片，镜片夹持器，倾斜调整支承座，水平调整驱动装置和倾斜调整驱动装置；所述镜座调整机构包括：镜座，压板，定心仪工作台，水平调整旋钮，气浮轴，倾斜调整旋钮，转接板。本发明提出的高精度曝光镜头单元的集成装校装置，能够实现单个镜头单元中镜片与镜座的精确装配。

主权项

一种高精度曝光镜头单元的集成装校装置，其特征在于，包括：镜片调整定位机构和镜座调整定位机构，其中所述镜片调整定位机构包括：镜片，镜片夹持器，倾斜调整支承座，水平调整驱动装置和倾斜调整驱动装置，所述镜片放置于所述镜片夹持器上，所述镜片夹持器固定于所述倾斜调整支承座，通过调节水平调整驱动装置和倾斜调整驱动装置调整倾斜调整支承座的位置，从而带动镜片在水平方向和倾斜方向移动达到预定的位置；所述镜座调整机构包括：镜座，压板，定心仪工作台，水平调整旋钮，气浮轴，倾斜调整旋钮，转接板，所述镜座安装于所述转接板上，所述转接板通过所述压板固定到所述定心仪工作台上，通过调整所述定心仪工作台在平移和倾斜方向的位移，带动所述镜座，实现所述镜座水平和倾斜方向的调整。