[发明专利]镀膜支架及镀膜机无效
申请号: | 201010147621.4 | 申请日: | 2010-04-15 |
公开(公告)号: | CN102220557A | 公开(公告)日: | 2011-10-19 |
发明(设计)人: | 吴佳颖 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种镀膜支架及一种包括该镀膜支架的镀膜机。该镀膜支架包括主轴、挂具及转接体。该转接体一端与主轴相连。该挂具可移动地与该转接体的另一端相连。该镀膜支架及镀膜机设有转接体,通过相对于该转接体移动该挂具改变挂具露出转接体的长度,实现挂具与靶材的间距实时可调,可提高镀层均匀性。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 支架 | ||
【主权项】:
一种镀膜支架,包括主轴及挂具,其特征是,该镀膜支架还包括转接体,该转接体一端与主轴相连,该挂具可移动地与该转接体的另一端相连。
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