[发明专利]基于合成波长的激光波长测量方法及装置无效
| 申请号： | 201010140137.9 | 申请日： | 2010-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101832821A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 陈本永;严利平;杨涛;李超荣;唐为华 | 申请（专利权）人： | 浙江理工大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于合成波长的激光波长测量方法及装置。选用一个波长稳定度较高的激光器作为参考激光器，参考激光器的光束和待测激光器的光束被调制为正交线偏振光后，入射同一迈克尔逊干涉仪，分别形成各自的干涉信号。当迈克尔逊干涉仪中的测量臂移动时，参考光和待测光的干涉信号的相位关系将发生变化，当这两路干涉信号的相位差变化2π时对应于测量臂移动半个由参考光和待测光形成的合成波长的位移。通过检测两路干涉信号两次同时过零点位置便可测得合成波长值，根据待测激光波长和参考激光波长与合成波长之间的关系，即可得到待测激光的波长值。本发明具有较强的环境抗干扰能力，波长测量精度可以达到10-8以上，成本低，易于实用化。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 合成 波长 激光 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基于合成波长的激光波长测量方法，其特征在于：参考激光器和待测激光器的光束经各自的检偏器后，成为正交线偏振光，入射到迈克尔逊干涉仪，形成各自的干涉信号分别由两个探测器接收；当迈克尔逊干涉仪中的测量臂移动时，参考光和待测光的干涉信号的相位关系将发生变化；当这两路干涉信号相位差变化2π时，对应于测量臂移动半个合成波长的位移；因此，通过检测这两路干涉信号的两次同时过零点的位置，便能测得合成波长值，根据待测激光波长λU和参考激光波长λR与合成波长λS之间的关系，即能得到待测激光的波长为： λ U = λ S λ R λ S ± λ R .
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