[发明专利]基于原子力显微镜的微型颗粒表面纳米压痕测量装置无效
| 申请号： | 201010131318.5 | 申请日： | 2010-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN102200543A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 马丽颖;高瑞玲;俞晓正 | 申请（专利权）人： | 国家纳米技术与工程研究院 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300457 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种基于原子力显微镜的微型颗粒表面纳米压痕的测量装置及其测量方法，它是由原子力显微镜系统构成，扫描管顶部的样品台上有安放被测样品的片状平面，片状平面上有粘接固定被测样品的双面胶，固定于针尖架之中有进行扫描和纳米压痕操作的纳米压痕针尖，纳米压痕针尖置于被测样品的上方；将被测样品粘于固定有双面胶的片状平面之上，片状平面放置于扫描管顶部的样品台上，而固定于针尖架之中的纳米压痕针尖是在被测样品的上方进行扫描和纳米压痕操作，纳米压痕针尖采用的是金刚石针尖，纳米压痕针尖的弹性系数保持在100-300牛/米之间，共振频率是35-65千赫兹。本发明成功地在粒径尺寸为20-80微米的粉末状微型颗粒被测样品表面进行了纳米压痕测量过程。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 原子 显微镜 微型 颗粒 表面 纳米 压痕 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于原子力显微镜的微型颗粒表面纳米压痕的测量装置，它是由原子力显微镜系统构成，包括扫描控制器、扫描探针显微镜主体、放大镜显示系统、计算机主机、显示器、键盘及鼠标，其中扫描探针显微镜主体包括基座、扫描管、针尖架、电子线路连接单元、激光光路与放大镜系统，其特征在于扫描管顶部的样品台上有安放被测样品(2)的片状平面(3)，片状平面(3)上有粘接固定被测样品(2)的双面胶，固定于针尖架之中有进行扫描和纳米压痕操作的纳米压痕针尖(1)，纳米压痕针尖(1)置于被测样品(2)的上方。
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