[发明专利]三维形状测量方法及装置

摘要

本发明提供一种三维形状测量方法及装置，其对被测体的表面及背面的各形状在正确地掌握相互相对的位置关系的状态下进行高精度地测量。对于围着旋转轴(R2)旋转的被测透镜(9)，在变更显微干涉仪(1)的相对姿势的同时所进行的形状测量分成以下进行：在从背面侧支承被测透镜(9)的状态下进行的表面部的测量、在从表面侧支承被测透镜(9)的状态下进行的背面部的测量。通过对由表面部的测量求出的边缘部侧面(97)的第1形状信息和由背面部的测量求出的边缘部侧面(97)的第2形状信息进行互相比较对照，求出被测体表面和被测体背面的相对位置关系。

主权项

一种三维形状测量方法，利用测量探测器测量被测体的形状，该被测体具有通过包括形成有以第1轴线为中心的旋转面状的第1曲面部而成的被测体表面、通过包括形成有以第2轴线为中心的旋转面状的第2曲面部而成的被测体背面、形成有圆柱面状的被测体侧面而构成，其特征在于，该三维形状测量方法包括以下步骤作为测量工序而构成：被测体背面支承步骤，从上述被测体背面侧支承上述被测体；被测体表面旋转步骤，使从上述被测体背面侧支承的上述被测体，在当上述第1曲面部为非球面时使上述第1轴线与预定的旋转轴一致的状态下，在当上述第1曲面部为球面时使以从上述被测体背面侧支承的状况的上述第1曲面部的顶点的垂线与上述旋转轴一致的状态下，围着该旋转轴旋转；被测体表面·侧面形状信息取得步骤，对于所旋转的上述被测体，一边变更上述测量探测器和上述被测体的相对位置，一边通过该测量探测器扫描上述被测体表面及上述被测体侧面，而取得被测体表面·侧面形状信息，该被测体表面·侧面形状信息包括该被测体表面的形状信息和该被测体侧面的第1形状信息和该被测体表面及该被测体侧面的相对位置信息；被测体表面支承步骤，从上述被测体表面侧支承上述被测体；被测体背面旋转步骤，使从上述被测体表面侧支承的上述被测体，在当上述第2曲面部为非球面时使上述第2轴线与上述旋转轴一致的状态下，在当上述第2曲面部为球面时使以从上述被测体表面侧支承的状况的上述第2曲面部的顶点的垂线与上述旋转轴一致的状态下，围着该旋转轴旋转；被测体背面·侧面形状信息取得步骤，对于所旋转的上述被测体，一边变更上述测量探测器和上述被测体的相对位置，一边通过该测量探测器扫描上述被测体背面及上述被测体侧面，而取得被测体背面·侧面形状信息，该被测体背面·侧面形状信息包括该被测体背面的形状信息和该被测体侧面的第2形状信息和该被测体背面及该被测体侧面的相对位置信息；被测体整体形状信息取得步骤，通过在上述被测体表面·侧面形状信息取得步骤中得到的上述被测体侧面的第1形状信息、和在上述被测体背面·侧面形状信息取得步骤中得到的上述被测体侧面的第2形状信息互相比较对照，求出包括上述被测体表面和上述被测体背面的相对位置信息的被测体整体形状信息。