[发明专利]超精密光纤光栅位移传感器无效
申请号: | 201010127525.3 | 申请日: | 2010-03-17 |
公开(公告)号: | CN101788268A | 公开(公告)日: | 2010-07-28 |
发明(设计)人: | 费业泰;尚平;王晨晨 | 申请(专利权)人: | 合肥工业大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人: | 何梅生 |
地址: | 230009 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种超精密光纤光栅位移传感器,其特征是设置被固定的测头壳体,测头壳体为一筒状体,筒状体的底部为敞口,在敞口端面上,沿径向设置有一横梁;测杆是由相互平行的上片簧和下片簧固定在测头壳体的内侧壁上,并保持测杆与测头壳体为同轴,组成平行片簧导轨;在测杆的顶端设置压簧;测杆的底端探出测头壳体,并且在探出测头壳体的测杆的底端固联有硬测头。本发明灵敏度很高、结构简单、成本较低,能实现在小范围内纳米级测微精度。 | ||
搜索关键词: | 精密 光纤 光栅 位移 传感器 | ||
【主权项】:
超精密光纤光栅位移传感器,其特征是:设置被固定的测头壳体(2),所述测头壳体(2)为一筒状体,筒状体的顶部具有中心螺孔;筒状体的底部为敞口,在所述敞口端面上,沿径向设置有一横梁(12);在所述测头壳体(2)的内部沿轴向设置一测杆(9),所述测杆(9)是由相互平行的上片簧(3)和下片簧(4)固定在测头壳体(2)的内侧壁上,并保持测杆(9)与所述测头壳体(2)为同轴,组成平行片簧导轨;在所述测杆(9)的顶端设置压簧(6),所述压簧(6)套装在测力调整螺母(5)上,所述测力调整螺母(5)以其外螺纹与所述测头壳体(2)的顶部中心螺孔螺纹连接,所述测力调整螺母(5)可以在所述中心螺孔中调整轴向位置;测杆(9)的底端探出测头壳体(2),并且在探出测头壳体(2)的测杆的底端固联有硬测头(15);设置一根处在测杆(9)的中轴位置上的光纤光栅(8),连接有信号传输线(16)的光纤光栅(8)的顶端固定在测杆(9)的顶端,光纤光栅(8)的底端固联在横梁(12)上。
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