[发明专利]基于微纳米纤维结构的触觉传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于微纳米纤维结构的触觉传感器及其制备方法。将具有压电或压阻特性的溶质材料与溶剂相混合以配备出具有压电或压阻敏感特性的，且同时适于拉伸的粘性溶液；利用微量注射泵将该溶液从微型针头中挤出，再通过操纵三维操作平台沿垂直方向运动，以制备出具有敏感特性的微纳米级直立悬空纤维，并利用硅橡胶材料对制备出的微纳米级直立悬空纤维阵列进行封装。相对于其他微触觉感知装置所采用的传统微加工技术，制备简单，用料节省，成本低廉；其直立纤维结构使触觉感知系统更加灵敏。

主权项

一种基于微纳米级直立纤维敏感结构的触觉传感器，其特征在于：在基底(6)中心安装底部大、而上部为圆锥状的具有压电特性的微纳米级直立悬空纤维(10)或压阻特性的微纳米级直立悬空纤维(15)，在微纳米级直立悬空纤维外对称包覆一组电极，用硅橡胶封装材料(12)封装在基底(6)上，两个电极分别用金属引线与设置在基底(6)的各自外置金属电极连接。