[发明专利]磁控管的寿命判定方法、磁控管的寿命判定装置无效
| 申请号： | 201010104207.5 | 申请日： | 2006-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN101788638A | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | 河西繁;长田勇辉 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/24 | 分类号： | G01R31/24;H01L21/00;H01J25/50;H05B6/68 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明以提高磁控管的寿命为目的，提供一种磁控管的寿命判定方法。本发明的微波发生装置，具备：具备包括灯丝(78)的阴极(80)和包括空腔谐振器(84)的阳极(82)的磁控管(74)；灯丝的电流测定部(100)；求出在灯丝上施加的电压的电压测定部(102)。基于电流测定部(100)和电压测定部(102)求出的电流和电压，在电阻值计算部(104)求出灯丝的电阻值。基于电阻-温度相关特性，在温度计算部(106)根据所述电阻值求出灯丝的温度。电源控制部(110)控制灯丝电源(98)，使得灯丝温度维持在规定的温度范围内。并且，逐渐降低在灯丝上施加的电压，求出发生模变现象时向灯丝施加的电压作为模变电压，基于该模变电压进行磁控管的寿命的判定。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控管 寿命 判定 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控管的寿命判定方法，其特征在于，所述磁控管产生微波，具备：包括灯丝的阴极；与该阴极相对配置的包括空腔谐振器的阳极；和提供与所述阴极和所述阳极的配置方向正交的磁场的磁场发生器，所述磁控管的寿命判定方法包括：向所述灯丝供给电力，使磁控管工作，产生预先确定的频率的微波的工作开始工序；逐渐降低在所述灯丝上施加的电压，求出产生模变现象时向所述灯丝施加的电压作为模变电压的模变电压测定工序；和基于在所述模变电压测定工序中求出的模变电压，进行所述磁控管的寿命的判定的寿命判定工序。
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