[发明专利]一种用于增强传感器灵敏度的复合光波导无效
申请号: | 201010100251.9 | 申请日: | 2010-01-25 |
公开(公告)号: | CN101776465A | 公开(公告)日: | 2010-07-14 |
发明(设计)人: | 郝寅雷;郑伟伟;谷金辉;李宇波;李锡华;杨建义;江晓清;周强;王明华 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01D5/26 | 分类号: | G01D5/26;G02B6/00 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林怀禹 |
地址: | 310027浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于增强传感器灵敏度的复合光波导。包括下包层、条形限制区和传感层;在传感层从下至上依次设置平板形限制区和上包层;条形限制区折射率大于下包层的折射率;平板形限制区的折射率大于上包层的折射率;传感层折射率小于条形限制区和平板形限制区的折射率。本发明通过引入垂直于基片方向上的狭缝波导结构,与传统的基于倏逝波原理的集成光学光学传感器相比,增强了光导波与传感层的相互作用,提高了传感器的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 增强 传感器 灵敏度 复合 波导 | ||
【主权项】:
一种用于增强传感器灵敏度的复合光波导,包括下包层(1)、条形限制区(2)和传感层(3);其特征在于:在传感层(3)从下至上依次设置平板形限制区(6)和上包层(7);条形限制区(2)折射率大于下包层(1)的折射率;平板形限制区(6)的折射率大于上包层(7)的折射率;传感层(3)折射率小于条形限制区(2)和平板形限制区(6)的折射率。
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