[发明专利]一种集成铜离子发光功能的玻璃基离子交换光波导芯片无效
| 申请号: | 201010100228.X | 申请日: | 2010-01-25 |
| 公开(公告)号: | CN101776782A | 公开(公告)日: | 2010-07-14 |
| 发明(设计)人: | 郝寅雷;谷金辉;郑伟伟;杨建义;李锡华;周强;江晓清;王明华 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
| 主分类号: | G02B6/134 | 分类号: | G02B6/134 |
| 代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林怀禹 |
| 地址: | 310027浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种集成铜离子发光功能的玻璃基离子交换光波导芯片。在玻璃基片表面的局部区域具有铜离子扩散区;用离子交换法在玻璃基片中形成条形掺杂区,在条形掺杂区与铜离子扩散区重叠区中形成具有发光功能的条形掺杂区;条形掺杂区的折射率高于玻璃基片的折射率,具有发光功能的条形掺杂区的折射率高于铜离子扩散区的折射率,条形掺杂区和具有发光功能的条形掺杂区以端面耦合的方式共同形成条形光波导的芯部。本发明在光波导芯片上的所需区域实现光波导的发光功能,实现玻璃基片上发光功能的集成,并且具有制作工艺简单,耦合效率高等显著特点,为实现玻璃基集成光学芯片的发光功能的集成提供了新的结构,使玻璃基集成光学芯片的设计更加灵活。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 集成 离子 发光 功能 玻璃 离子交换 波导 芯片 | ||
【主权项】:
一种集成铜离子发光功能的玻璃基离子交换光波导芯片,在玻璃基片(1)表面的局部区域具有铜离子扩散区;其特征在于:用离子交换法在玻璃基片(1)中形成条形掺杂区(3),在条形掺杂区(3)与铜离子扩散区(2)重叠区中形成具有发光功能的条形掺杂区(4);条形掺杂区(3)的折射率高于玻璃基片(1)的折射率,具有发光功能的条形掺杂区(4)的折射率高于铜离子扩散区(2)的折射率,条形掺杂区(3)和具有发光功能的条形掺杂区(4)以端面耦合的方式共同形成条形光波导的芯部。
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