[发明专利]用于硅结晶的设备和方法有效
| 申请号： | 200980161514.2 | 申请日： | 2009-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102575376A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | J-E·埃里克森;O·乔斯塔姆;U·桑德 | 申请（专利权）人： | ABB公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/06;C30B35/00;B22D27/04;F27B14/14;H05B6/36;H05B6/44 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 瑞典韦*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 一种用于硅结晶的设备，包括：坩埚(11)，用于容纳硅；加热和散热装置(12)，被提供用于熔融坩埚中容纳的硅并且用于随后固化熔融硅；以及电磁搅拌装置(13)，被提供用于在熔融硅固化期间搅拌坩埚中的熔融硅。提供控制装置(14)用于控制加热和散热装置以按照指定的固化速率固化熔融硅并且用于响应于熔融硅的指定固化速率控制电磁搅拌装置以搅拌熔融硅使得熔融硅的速度与指定的固化速率之比在第一阈值以上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 结晶 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于硅结晶的设备，包括：‑坩埚(11)，用于容纳硅；‑加热和散热装置(13‑15)，被提供用于熔融所述坩埚中容纳的硅(12a‑b)并且用于随后固化熔融硅；以及‑电磁搅拌装置(17)，被提供用于在所述熔融硅固化期间搅拌所述坩埚中的熔融硅，其特征在于：‑控制装置(18)，被提供用于控制所述加热和散热装置以按照指定的固化速率固化所述熔融硅并且用于响应于所述熔融硅的指定的固化速率，控制所述电磁搅拌装置以搅拌所述熔融硅使得所述熔融硅的速度与指定的固化速率之比在优选为10、更优选为100、进一步更优选为1000并且最优选为10000的第一阈值以上。
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