[发明专利]低表面外形变形的光学元件

摘要

本发明公开一种具有主体的反射光学元件，该主体具有高精度几何形状的第一反射表面(750)，用于在EUV光刻投射曝光系统中，反射波长范围小于50nm的光。该主体包括第一非反射表面(741)及第二非反射表面(742)。此外，该主体包括在该第一非反射表面上形成的单一连接区域(730)，在该连接区域内部具有至少一个固定表面，用于将该整个光学元件直接或间接固定至一承载元件的至少一个承载表面。另外，该第二非反射表面与在该第一非反射表面上形成的该单一连接区域不同，该第二非反射表面至少部分地围绕该单一连接区域。此外，在该主体中形成至少一个应力释放凹部，其中该应力释放凹部(793)使该第一非反射表面与该第二非反射表面至少部分地分离。

主权项

一种反射光学元件，包括：主体，具有高精度几何形状的第一反射表面，用于在EUV光刻投射曝光系统中，反射波长范围小于50nm的光；其中所述主体包括：第一非反射表面及一第二非反射表面；单一连接区域，形成于所述第一非反射表面上，在所述连接区域内部具有至少一个固定表面，用于将所述整个光学元件直接或间接固定于一承载元件的至少一个承载表面；其中所述第二非反射表面与在所述第一非反射表面上形成的所述单一连接区域不同，并且其中所述第二非反射表面至少部分地围绕所述单一连接区域；至少一个应力释放特征，形成于所述主体中或所述主体上，其中所述应力释放特征使所述第一非反射表面与所述第二非反射表面至少部分地分离。