[发明专利]光检测器有效
| 申请号： | 200980154028.8 | 申请日： | 2009-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102272563A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 铃木顺;尾岛史一;北浦隆介 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;G01J1/42;H01L27/14;H01L37/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光检测器，提供具有辐射热计元件(11)及参考元件(21)的红外线检测器(1)，其中参考元件(21)包含：辐射热计膜(22)；辐射热计膜(22)的基板侧表面上形成的基板侧绝缘膜(31)；经由基板侧绝缘膜(31)而在辐射热计膜(22)的基板侧表面上形成的由非晶硅构成的散热膜(23)；及与散热膜(23)及基板(10)热连接的由非晶硅构成的多个散热柱(25)，辐射热计膜(22)及基板侧绝缘膜(31)绕转到散热膜(23)中的与基板(10)的表面交叉的侧面而形成。根据如此的红外线检测器(1)，既可有效地减少使用环境的温度变化的影响，且可谋求小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 | ||
【主权项】：
一种光检测器，其特征在于，具有：第1辐射热计膜，与基板的表面隔开而被支撑于该基板的表面上；第2辐射热计膜，与所述基板的表面隔开而被支撑于所述基板的表面上；基板侧绝缘膜，在所述第2辐射热计膜的所述基板侧表面上形成；散热膜，经由该基板侧绝缘膜而在所述第2辐射热计膜的所述基板侧表面上形成，并且由非晶硅构成；以及多个散热柱，与所述散热膜及所述基板热连接，并且由非晶硅构成，所述第2辐射热计膜及所述基板侧绝缘膜绕转到所述散热膜中的与所述基板的表面交叉的侧面而形成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浜松光子学株式会社，未经浜松光子学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980154028.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
