[发明专利]控制在激光束定位系统上的动力和热负载以实现工件特征的高生产率的激光处理

摘要

一种实现以密集间隔图案布置的工件特征(18)的高生产率的激光处理的方法使由于在工件特征处理期间引导激光束的激光束定位和光学组件上的动力和热负载而导致的工件特征处理不准确性和质量降级最小化。以激光束定位系统(32)实施优选实施例，所述激光束定位系统(32)由以下各项组成：声光射束偏转器(AOD)或电光偏转器(EOD)类型的零惯性光学偏转器、电流计头(30)以及线性台(34)，其协作以在所述工件特征间定位所述激光束(16)。

主权项

一种实现以密集间隔的图案布置的工件特征的高生产率的激光处理的方法，其同时使由于在工件特征处理期间引导激光束的激光束定位和光学组件上的动力和热负载而导致的工件特征处理不准确性和质量降级最小化，所述方法包括：在支撑件上定位具有界定处理表面区域的处理表面的所述工件；将激光束导向射束定位系统以提供处理激光束以供入射在所述工件的所述处理表面上的特征位置处，所述射束定位系统包含可移动台以及第一和第二射束定位器，所述射束定位器与所述可移动台协作以在所述工件的所述处理表面上的所述特征位置处以密集间隔图案处理工件特征，所述第一射束定位器的特征在于第一响应时间，且可操作以将所述处理激光束定位在所述处理表面的扫描场区内，且所述第二射束定位器包含零惯性光学偏转器，其特征在于第二响应时间，且可操作以将所述处理射束移动到所述扫描场区内的位置，所述第二响应时间比所述第一响应时间短；以及控制所述射束定位系统以协调所述可移动台与所述第一射束定位器的操作以将所述处理激光束定位在所述扫描场区内，且移动所述扫描场区以覆盖所述处理表面，所述扫描场区实质上小于所述工件的所述处理表面区域且包含多个处理带，每一处理带包含多个特征位置；操作所述第一射束定位器以将所述处理激光束连续定位到所述扫描场区内的所述多个处理带；且操作所述第二射束定位器以处理所述处理带的每一个中的所述多个特征位置处的所述工件特征，这是通过将所述处理激光束移动到每一特征位置并使所述处理激光束停留于每一特征位置处以处理所述处理带中的所述工件特征来实现的，使得所述第一射束定位器在所述扫描场区内的工件特征处理期间经历可忽略的加速和减速。