[发明专利]可调滤波器有效
申请号: | 200980143824.1 | 申请日: | 2009-11-16 |
公开(公告)号: | CN102204091A | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | 门田道雄 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H03H9/25;H03H9/64 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 樊建中 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种可调滤波器,能够提高所利用的弹性表面波谐振器的机电耦合系数,由此能够扩大相对带宽。可调滤波器(1)包括弹性表面波谐振器(11)和连接到弹性表面波谐振器的可变电容器(4-8),对于弹性表面波谐振器(11),在由LiNbO3或LiTaO3构成且在上表面上具有凹部的压电基板(12)的上表面的凹部(12a)中埋入电极材料从而形成IDT电极(13),以覆盖压电基板(12)的上表面的方式设置ZnO膜(15)。 | ||
搜索关键词: | 可调 滤波器 | ||
【主权项】:
一种可调滤波器,包括:弹性表面波谐振器,以及可变电容器,其连接到所述弹性表面波谐振器;所述弹性表面波谐振器具有:压电基板,其由LiNbO3或LiTaO3构成,且在上表面上具有凹部;IDT电极,其通过在所述压电基板的上表面的凹部中埋入电极材料而形成;以及ZnO膜,其以覆盖所述压电基板的上表面的方式设置。
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